产品详细
特点
超∩高分辨观察和超强分析能力
日立的高亮度肖特基场发射电子枪可同时支持超高分辨观察和快速微束分析。在☆不使用样品台减速的情况下，仅用0.1 kV的低加速电压仍可进行高分辨观察，适应更多应用①场景。同时，可搭配多种新型探测器和其他丰富的选配项，满足更多的观测需求。
先进的自♀动化功能*
EM Flow Creator 允许客户创建连续图像采集的自动化工作流程。EM Flow Creator将不同的SEM功能定义为图形化的模块，如设置放大倍↙率、移动样品位置、调节焦距和明暗对比度等。用户可以通过简单的鼠标拖¤拽，将这些模块按逻辑顺序组成一个工作程序。经过调试和◤确认后，该程序便可以在每次调用时自动获得高质量、重现性好的图像数据。
强大的ω显示及交互特性
原生支持双显示器，提供灵活、高效①的操作空间。
6通道同□ 时显示与保存，实现快速的多信号观测与采集，带来更多信◆息。
单次扫描最高支持 40,960×30,720 的超高像素*
大视野和高像素成像
左图是视野约为120 μm，单次扫描采集的『大鼠超薄切片样品高像素图像。将黄∑ 色矩形区域图像进行简单的数字放大，得到右图。右图相当于█左图数字放大20倍,依然可以清晰确认到神经细胞的细胞器等的内部构造
SU8600和SU8700单次扫描像素最高可达 40,960 x 30,720.*
规格
| 电子光学系ㄨ统 | 二次电子分辨率 | 0.8 nm@15 kV |
| 0.9 nm@1 kV | ||
| 放大倍率 | 20 ~ 2,000,000 x | |
| 电子枪 | 肖特基场发射电子源 | |
| 加速电压 | 0.1 ~ 30 kV | |
| 着陆电压*1,*3 | 0.01 ~ 7 kV | |
| 最大束流 | 200 nA | |
| 探测器 | 标配探测器 | 上探测器（UD） |
| 下探测器（LD） | ||
| 选配探测◥器*3 | 镜筒内背散射电子探测器（MD） | |
| 半导体式背散射电子探测器（PD-BSE） | ||
| 高灵敏低真空探测器（UVD） | ||
| 扫描透射探测器（STEM） | ||
| 选配附件*2 | X射线能谱仪（EDS） | |
| 电子背散射衍射探测器◤(EBSD) | ||
| 样品台 | 马达驱动轴 | 5轴马达驱动】 |
| 移动范围 | ||
| X | 0 ~ 110 mm | |
| Y | 0 ~ 110 mm | |
| Z | 1.5 ~ 40 mm | |
| T | -5 ~ 70° | |
| R | 360° | |
| 样品室 | 样品尺寸 | 最大直径：150 mm*4 |
| 低真空模式▽ | 真空范围 | 5 ~ 300 Pa |
*1减速模式下
*2可配置的探测器
*3选配项
*4如果有更大的样品㊣尺寸需求，请联系我们。
