UVISEL 2 VUV专为VUV 测量设计，整个系统处于真空状态，无氧气吸收。具备高准确性；超快测量速度；快速样品室抽真空能力，方便快速更换样品；氮气消耗量少。光谱范「围可覆盖147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能够在充氮气或抽真』空模型下工作。整个机械设计经过优化，氮气消耗量低至6L/min，载样︾速度快，2分钟内即可完成。真空样品仓门朝向操作人员更便于样品装载。

UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高灵敏度，它集成了大功率双Ψ 光源、高通量光学系统以及CaF2光弹调制晶体和两个时髦的△单色仪。从147nm到850nm，样品测量时间少于8分钟，具有良好〓的信噪比。

UVISEL 2 VUV通过显著减少氮气消耗量、吹扫及测试时间，改变了VUV椭偏【仪的世界。

DeltaPsi2软◇件提供了从测试到建模分析，输出报告，以及↑自动操作的全部功能控制，用户界面直观、友好，非常适用于科研及工业客〖户使用。

UVISEL 2 VUV测试速度快、运行成本低，使其成为分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV椭偏仪可以⊙定制化和自动化。

事业部: 科学仪器

产品分类: 椭圆偏振光谱仪①

制造商: HORIBA France SAS

概要：

载样ㄨ速度快

吹扫速度快

氮气消耗少

测试速度快

两种操作模○式可选：氮气保护或抽真空