产品详细
ZYGO新一代激光干涉仪系列--VeriFire?激光干涉仪，继承了工业标准GPI?激光干涉仪系列的所有优点，融合了机械相移技术、创造性的数据采 集技术、高性能的光电成像系统、振动补偿软件、非球面测量技术和波纹抑制技术等，是ZYGO技术的集中体现。 所有VeriFire?系列产品 都能提供标准的干涉测量，每种型号均具有特殊的应用。Verif ire"系统真正的斐索型激光光路设计延续了zYG0在面形计量行业*与伦比的经验。共光路的设计结合ZYG0**的采集算法，和功能强大的批软件实现了 高精度的表面计量与先进的分析能力。
关键性能：
? 斐索型共光路系统保证精密测量
? 友好的图形用户界面，易于生产线上操作
? 创新箅法使其在振动环境中也能实现准确计量
? 利用先进的过程控制技术，快速提取测试中不变的信息
? 每一帧数据都将振动信息冻结
所有 Verifire? 系列产品都能提供标准的干涉测量,每种型号均具有特殊的应用,列于下表:
| 型號: | XPZ | QPZ | ATZ | MST | Asphere |
| 核心技術: | 相︾位移式干涉儀 (PSI) |
傅立葉轉換相位移 式干涉儀 |
**非球面演算 法相位移式干涉仪 |
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| 光源: | 點光源 | 點光源和 Ring of Fire?環形光源(波紋抑制) | |||
| 變焦: | 自動 1-6X | 數位控制 1-5X | |||
| 聚焦: | 自動 | 數控步進焦距控制 | |||
| 解析度: | 640 × 480 圖元 | 1k × 1k 圖元 | |||
| 幀速: | 75 Hz | 100 Hz | 43 Hz | ||
ZYG0激光器长寿命、高功率、稳频
..........ZYG0专有的这款激光器的的激光功率和寿命均远远◥超过市售的激光干涉仪中常用的氦氖激光器。
..........其寿命评定超过60000小时，所以我们的激光器可以承诺3年免费质保，很大限度地减少停机时间和提高您的投资回报率。
..........Verifire干涉仪系统提供平面、球面、光学系统及组件的透射波前的快速，高精度测量。
..........可以测量玻璃或塑料光学元件，如平板、透镜和棱镜，甚至精密机加工的金属和陶瓷表面。
Smar tAveraging”技术
..........测量平均对于减少随机噪声源是一种非常有效的办法，如空气湍流◇的影响，但如何确定理想的平均次数是令人头疼的-.
..........平均次数太少影响测试效果,次数太多则浪费测试时间。
..........Smar tAveraging技术是ZYC0的MXn软件中一个特别的功能，可以自动计算评估并〖采用理想的平均次数。
..........Smar tAveraging Tm可以减少操作员的工作量,减少操作者的人为影响，增加测量结果的一致性。
QPSIM抗震型干∑ 涉计量
..........优化的光学系统设计结合高功率激光器,使ZYG0专有的QPS抗震干涉技术，能够在震动环境中实现可靠的“零波纹”相位测量，并可以在质量控制实验室和生产现场提供准确的表面计量。
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集成大量常用测量程序模块
? 多个样品的同时分析
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简单的定制过程，用户可调
? 设定数控采集和数据处理过程中的各种参数 |
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强大的数据分析功能 ? 数据滤波和剪辑? 像差计算 ? PSF和MTF图 ? 斜率图/功率谱密度/环绕能 ? ASCII和"XYZ"数据格式 ? Zernike分析 ? 数据和图像加减、缩放、旋转和转换 ? ZEMAX、CodeV和0SL0数据格式
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系统
| 测量功能 | 精密测量各种□ 反射面和光学系统的表面面形、精密测量光学系统的传输波前 |
| 测量技术 | QPSI快速机械相移模式和传统的机械相移干涉模式（PSI） |
| 校准系统 | 快速条纹采样系统(QFAS) (双光点定位于十字线) |
| 测量光束直径 | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 对准视场范围FOV | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光学中心线 | 4.25″（108mm） |
| 激光光源 | 大功率稳频氦-氖激光，IIIa级 |
| 波长 | 633 nm |
| 频率稳定度 | < 0.0001 nm |
| 相干长度 | ＞100m |
| 成像分辨『率 | 1024 x 1024像素 |
| 帧速 | 100Hz（PSI） |
| 数据采集时间 | 130-300ms |
| 数据模式 | 8位 |
| 放大 | 电控1-5X |
| 偏振 | 接近圆偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈调焦范围 | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 计算机和█软件 | 高性能DELL PC，Windows7，64位，ZYGO**软件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安装构造 | 水平卧式或垂直立式 |
| 附件 | 详细参考ZYGO激光干涉仪附件向导文件，OMP-0463 |
| 尺寸(长x宽x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)；6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 电源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作环境：
| 温度 | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 温度变化率 | ＜1.0°C/15min |
| 湿度 | 相对湿度5% - 95% , 无凝结 |
| 隔振 | QPSI模式可以在振幅不超过150nm的震动环境下进行测量；机械移相测量模式推荐使用被动隔振系统。 |
性能参数：
| RMS重复性（3） | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重复性（4） | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5) | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
