产品详细
ZYGO新型Verifire HDX干涉仪是为高精度的光学元件和系统设计和制造的,可以获得元件表面的中频特征信息。系统包☆含现有Verifire HD的所有功能-比如QPSI和长寿命稳频的激光器,并增加了重◆要的增强功能,如刷新行业水平的分辨率和①成像能力,仪器传递函数(ITF)、出众的中频特征分析和大坡度表面测试,同时∑也兼具了ZYGO DynaPhase®系列动态采集♂技术,可以消除震动引起的问题并√且能够在近乎任何环境中精确计量。
特殊㊣ 设计优化的分辨率和性能
Verifire HDX系统具有全新的光学设计,经过严格设计,可为其所配的3.4kx 3.4k(1160万像素)传感器提供突破像素限制的性能,呈现增々强的图像,可以显示出较低分辨率干〓涉仪难以辨识的表面特征。这种很高的空间分辨率不会以牺牲速度☉为代价,该系统在全分辨率下以帧率96 Hz运行,比其它高分辨率干涉仪速度快◥10倍,那些由于采样速度较慢在采样的时候会※引入震动误差从而测试能力受限。功率谱密度(PSD)和衍射分←析工具完善了Verifire HDX系统的中频特征分析能力,并通过简单直观的用户界面来分析和报告综合表》面特性。
光学表面测量中的中频Ψ 特征分析→ |
、 UltraFlat和UltraSphereλ/ 40传输元件 |
高质量的参考光学元件和配件
UltraFlat?和UltraSphere?很高精度透射平面和球面,面形可以★达到λ/40 PVr或更高,并且严格控制PSD特征进行制造,以优化中频特征。推荐将这些〖高精度参考光学元件与Verifire HDX干涉仪一起配合使用,以全面实现和提升系统的性ζ 能。无论它们是被用于垂直构型还是水平构型,UltraFlat透射平板面形精度不变,从而在测试设置中提供更大的』灵活性。
Mx Software, Zernike Analysis Results
Mx? 软件
ZYGO自主设计研发○的Mx?分析软件提供强大的操作功能和全面的▂数据分析功能,包括Zernike,斜率,PSD / MTF / PSF,棱镜角度,角锥以及︽更多。该软件集仪器控制,数据采集和分「析软件包与一体,集成了制造过程控◥制,运行自动化和报告关键中频特征等工具包。软件操作界面简单,直观。它还▆包括了基于Python的脚本和远程控制接口,以实现很大的灵活性并集成到复杂的测试设置╲中。
ITF仪器传递函数-它是什么,为什么它是重要的?
很多年来,大家一直关注于光学元件表面的形状误差,但随着对光学系统性能需求的增加,控制中频特征(MSF)也变得卐同样重要。对于▽一些很高性能应用,需要严格控制MSF特性以减少光散射并提高光学效率。 |
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