产品详细
Verifire? MST镭射干涉仪提供了一个崭新的测量方式和能力,传统的镭射》干涉仪应用是测量两个面的波前变化,也就是说测量一个 由两个面所形成的腔。但是,如果所测量的是一个没有经过镀膜的平行平板ξ,则就会产生两个叠加的干涉条纹(三个面的腔所形成),这样就会干扰标准的位相干涉测量分析。现在,ZYGO的Verifire? MST镭射干涉仪解决了这一个问题,通过波长调制技术和ZYGO新的傅立叶转换方法,可以进行三个甚至四个平行面的测量,不仅可以显示所有的面,并且可以排除其他的面而单独显示你所需要的面。
三平面干涉测量
镭射干涉仪可以在你的测量中,只要一次资料撷取,就可以得到平行平板前表面和后表面的平面度,同时还能得到平行平板的光学厚度:
? 前表面形貌图
? 光学厚度变化
? 物理厚度变化和后表面形变
四表面干涉测量
这一技术能够通过两次资料撷取得到下列结果:
? 前表面和后表面的形貌图
? 物理厚度变化
? 光学厚度变化
? 折射率变化
- 非线性材料均匀性
- 线性材料均匀性
多表面样品测量快速、简单和①品质提升,同时测量表面形变和光学厚度变化,平行平板两侧测量就可以得到其均匀性:
? 不需要涂◣油就可以进行安全、快速测量
? 两次测量不需要进行调整
?新型的线性材料均匀性测量,快速测量,只需要几分钟而不是几个小时